超精密機器における流...

超精密機器における流体/気体軸受の設計と技術動向 (特集 転がり・すべり要素の設計と制御)

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超精密機器における流体/気体軸受の設計と技術動向(特集 転がり・すべり要素の設計と制御)

国立国会図書館請求記号
Z16-466
国立国会図書館書誌ID
9643299
資料種別
記事
著者
平山 朋子
出版者
東京 : 精密工学会
出版年
2008-09
資料形態
掲載誌名
精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編 74(9) (通号 885) 2008.9
掲載ページ
p.905~908
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
平山 朋子
著者標目
並列タイトル等
Technology trend of hydrodynamic/hydrostatic bearings for high precision apparatus
タイトル(掲載誌)
精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
巻号年月日等(掲載誌)
74(9) (通号 885) 2008.9
掲載巻
74
掲載号
9