超高真対応超音波モータに関する研究--セラミック回転子を用いることによる超高真空を維持した駆動
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 新野 俊樹高橋 俊一遠藤 康博
- 並列タイトル等
- Study on ultrahigh vacuum compatible ultrasonic motor: maintenance of ultrahigh vacuum condition during motor operation by using ceramic plate at friction surface of rotor
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 74(9) (通号 885) 2008.9
- 掲載巻
- 74
- 掲載号
- 9
- 掲載通号
- 885