多段可変自然長ばねモデルと外乱オブザーバに基づくボールねじステージの非線形摩擦補償 (産業計測制御研究会 ナノスケールサーボのための制御技術)

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多段可変自然長ばねモデルと外乱オブザーバに基づくボールねじステージの非線形摩擦補償

(産業計測制御研究会 ナノスケールサーボのための制御技術)

国立国会図書館請求記号
Z43-2260
国立国会図書館書誌ID
9662329
資料種別
記事
著者
浅海 博圭ほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
2008-09-12
資料形態
掲載誌名
電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編] 2008(161-170) 2008.9.12
掲載ページ
p.7~12
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
浅海 博圭
藤本 博志
並列タイトル等
Nonlinear friction compensation of ball screw stage based on multi variable natural length spring model and disturbance observer
タイトル(掲載誌)
電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編]
巻号年月日等(掲載誌)
2008(161-170) 2008.9.12
掲載巻
2008
掲載号
161-170