終端状態制御によるガルバノスキャナのナノスケールサーボ制御 (産業計測制御研究会ナノスケールサーボのための制御技術)

終端状態制御によるガルバノスキャナのナノスケールサーボ制御

(産業計測制御研究会ナノスケールサーボのための制御技術)

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資料種別: 記事
タイトル: 終端状態制御によるガルバノスキャナのナノスケールサーボ制御
著者・編者: 城所隆弘
平田光男
上田伸治
シリーズタイトル: 産業計測制御研究会ナノスケールサーボのための制御技術
著者標目: 城所隆弘
平田光男
上田伸治
並列タイトル等: Nanoscale servo control for Galvano scanner using final-state control
タイトル（掲載誌）: 電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編]
巻号年月日等（掲載誌）: 2008(161-170) 2008.9.12
掲載巻: 2008
掲載号: 161-170
掲載ページ: 43～48
掲載年月日（W3CDTF）: 2008-09-12
出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: 終端状態制御
ナノスケールサーボ制御
ガルバノスキャナ
Final-State Control
Nanoscale Servo Control
Galvano Scanner
NDLC: ZN31
対象利用者: 一般
レポート番号（雑誌記事）: IIC-08-168
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z43-2260
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 9662491
http://id.ndl.go.jp/bib/9662491
整理区分コード: 632