超精密加工専門委員会 次世代の超精密加工 原子制御製造プロセスの創出に向けて (特集 専門委員会・分科会研究レビュー)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 山内 和人
- シリーズタイトル
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Atomically controlled fabrication process as the next generation ultra-precision machining technology
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 74(10) (通号 886) 2008.10
- 掲載巻
- 74
- 掲載号
- 10