4H-SiC(0001)面の高能率研削
デジタルデータあり（科学技術振興機構）
すぐに読む
J-STAGE
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
その他
J-STAGE
デジタルCiNii Research
検索サービスデジタル連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 春日 博林 偉民渡邉 裕 他
- 並列タイトル等
- Efficient grinding of a 4H-SiC (0001) surface
- タイトル（掲載誌）
- Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 52(11) (通号 315) 2008.11
- 掲載巻
- 52
- 掲載号
- 11
- 掲載通号
- 315