結晶格子を基準とする微小長さ測定(第3報)--熱ドリフト誤差の抑制と測定範囲の数μmレベルへの拡大
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 明田川 正人高田 孝次野呂 昌良 他
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 65(1) (通号 769) 1999.01
- 掲載巻
- 65
- 掲載号
- 1
- 掲載通号
- 769
- 掲載ページ
- 121～125