単原子電子源を搭載した低速走査型電子顕微鏡の開発 (特集 高性能電子源が拓く分析装置・計測技術)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 石川 剛米澤 彬齋藤 秀一 他
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- A low-voltage scanning electron microscope with a single-atom electron source
- タイトル（掲載誌）
- 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 29(11) 2008.11
- 掲載巻
- 29
- 掲載号
- 11