AIP法により作製したTiN,CrN,Cr2NおよびAlTiN膜の熱膨張率および二軸弾性率の温度依存性
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 山本 兼司佐藤 俊樹岩村 栄治
- タイトル（掲載誌）
- 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 50(1) 1999.01
- 掲載巻
- 50
- 掲載号
- 1
- 掲載ページ
- 52～57
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1999-01