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雑誌
電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
巻号
108(317)-108(324) 20081100-20081100
記事
周期溝加工基板上への...
周期溝加工基板上への減圧HVPE法によるAlN成長と評価 (電子部品・材料)
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周期溝加工基板上への減圧HVPE法によるAlN成長と評価
(電子部品・材料)
国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
9738232
資料種別
記事
著者
片桐 佑介ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2008-11
資料形態
紙
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 108(322) 2008.11.27・28
掲載ページ
p.65~70
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書誌情報
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書誌情報を出力
紙
資料種別
記事
タイトル
周期溝加工基板上への減圧HVPE法によるAlN成長と評価
著者・編者
片桐 佑介
奥浦 一輝
呉 潔君 他
シリーズタイトル
電子部品・材料
著者標目
片桐 佑介
奥浦 一輝
呉 潔君
並列タイトル等
Low-pressure HVPE growth and characterization of AlN on period-trench-patterned substrate
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
108(322) 2008.11.27・28
掲載巻
108
掲載号
322
掲載ページ
65~70
掲載年月日(W3CDTF)
2008-11
ISSN(掲載誌)
0913-5685
ISSN-L(掲載誌)
0913-5685
出版事項(掲載誌)
東京 : 電子情報通信学会
出版地(国名コード)
JP
本文の言語コード
jpn
件名標目
AlN
LP-HVPE
NDLC
ZN33
対象利用者
一般
レポート番号(雑誌記事)
CPM2008-115
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Z16-940
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
9738232
http://id.ndl.go.jp/bib/9738232
整理区分コード
632
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