MOVPE選択成長法を用いた3-5族化合物半導体ナノワイヤの形成 (特集 化合物半導体ナノ作製技術の新展開)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 冨岡 克広佐藤 拓也原 真二郎 他
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Formation of 3-5 compound semiconductor nanowires by using selective-area MOVPE
- タイトル（掲載誌）
- 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 29(12) 2008.12
- 掲載巻
- 29
- 掲載号
- 12