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雑誌エレクトロセラミックスセミナー
巻号24巻-31巻 2005年12月9日-2012年11月22日
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Property improvement of PLZT capacitor using CaRuO3 top electrode (The 27th electronics seminar ; マイクロデバイス用のペロブスカイト酸化物電極材料の取捨選択)

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Property improvement of PLZT capacitor using CaRuO3 top electrode

(The 27th electronics seminar ; マイクロデバイス用のペロブスカイト酸化物電極材料の取捨選択)

国立国会図書館請求記号
Z17-1397
国立国会図書館書誌ID
9797335
資料種別
記事
著者
舟窪 浩ほか
出版者
東京 : 日本セラミックス協会
出版年
2008-11-28
資料形態
紙
掲載誌名
エレクトロセラミックスセミナー 27 2008.11.28
掲載ページ
p.15～20
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紙

資料種別
記事
タイトル
Property improvement of PLZT capacitor using CaRuO3 top electrode
著者・編者
舟窪 浩
Noriyuki Higashi
Norikazu Okuda
シリーズタイトル
The 27th electronics seminar ; マイクロデバイス用のペロブスカイト酸化物電極材料の取捨選択
著者標目
舟窪 浩
Noriyuki Higashi
Norikazu Okuda
タイトル（掲載誌）
エレクトロセラミックスセミナー
巻号年月日等（掲載誌）
27 2008.11.28
掲載巻
27
掲載ページ
15～20
掲載年月日（W3CDTF）
2008-11-28