Improvement of Detecting Sensitivity of Light Scattered by Small Particles on Transparent Conductive Film.

• 資料種別: 記事
• タイトル: Improvement of Detecting Sensitivity of Light Scattered by Small Particles on Transparent Conductive Film.
• 巻次・部編番号: 63; 8
• 著者・編者: 伊藤 巧; 舛屋 一弘; 秋山 伸幸
• 著者標目: Frox Takumi; 伊藤 巧; MASUYA Kazuhiro; 舛屋 一弘; AKIYAMA Nobuyuki; 秋山 伸幸
• 出版年月日等: 1997
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 並列タイトル等: 透明導電膜上の微粒子からの散乱光検出感度の向上法
• タイトル（掲載誌）: 精密工学会誌; Journal of the Japan Society for Precision Engineering
• 巻号年月日等（掲載誌）: 63 8
• 掲載巻: 63
• 掲載号: 8
• 掲載ページ: 1112-1116
• ISSN（掲載誌）: 0912-0289; 1882-675X
• ISSN-L（掲載誌）: 0912-0289
• 著者別名: Frox Takumi; MASUYA Kazuhiro; AKIYAMA Nobuyuki
• 件名標目: automatic inspection; contaminant detection; laser diode; ITO (Indium Tin Oxide); TFT-LCD; particle detection
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.2493/jjspe.63.1112
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 連携機関・データベース: 科学技術振興機構 : J-STAGE

• 要約等: Small particles (approximately larger than 1μ, m) adhered on to TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display) plates in a production process c...