Light Scattering by Small particles and Small Defects on the Silicon Wafer Surface. Calculations of Scattering Light Intensity and Optical Image through a Lens. : Calculations of Scattering Light Intensity and Optical Image through a Lens

• 資料種別: 記事
• タイトル: Light Scattering by Small particles and Small Defects on the Silicon Wafer Surface. Calculations of Scattering Light Intensity and Optical Image through a Lens. : Calculations of Scattering Light Intensity and Optical Image through a Lens
• 巻次・部編番号: 66; 11
• 著者・編者: 片岡 俊彦; 井上 晴行; 遠藤 勝義; 押鐘 寧; 森 勇藏; 中野 元博; 和田 勝男; 安 弘
• 著者標目: KATAOKA Toshihiko; 片岡 俊彦; INOUE Haruyuki; 井上 晴行; ENDO Katsuyoshi; 遠藤 勝義; OSHIKANE Yasushi; 押鐘 寧; MORI Yuzo; 森 勇藏; NAKANO Motohiro; 中野 元博; WADA Katsuo; 和田 勝男; AN Hiroshi; 安 弘
• 出版年月日等: 2000
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 並列タイトル等: シリコンウエハ表面上の微粒子・微小欠陥による光散乱 散乱光強度およびレンズによる像形成の計算 : 散乱光強度およびレンズによる像形成の計算
• タイトル（掲載誌）: 精密工学会誌; Journal of the Japan Society for Precision Engineering
• 巻号年月日等（掲載誌）: 66 11
• 掲載巻: 66
• 掲載号: 11
• 掲載ページ: 1716-1722
• ISSN（掲載誌）: 0912-0289; 1882-675X
• ISSN-L（掲載誌）: 0912-0289
• 著者別名: KATAOKA Toshihiko; INOUE Haruyuki; ENDO Katsuyoshi; OSHIKANE Yasushi; MORI Yuzo; NAKANO Motohiro; WADA Katsuo; AN Hiroshi
• 件名標目: silicon wafer; geometric defect; particle; optical image; scattering cross section; electric-dipole approximation; calculation of light scattering
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.2493/jjspe.66.1716
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 連携機関・データベース: 科学技術振興機構 : J-STAGE

• 要約等: A theory of light scattering is described for particles and geometric defects on a flat surface which are very small compared with the wavelength. The...