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真空装置用図記号の規格

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真空装置用図記号の規格

資料種別
記事
著者
吉田 肇
出版者
The Japan Society of Vacuum and Surface Science
出版年
2024-08-10
資料形態
デジタル
掲載誌名
表面と真空 67 8
掲載ページ
p.399-403
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資料詳細

要約等:

<p>The joint committee for standardization of The Japan Society of Vacuum and Surface Science (JVSS) and Japan Vacuum Industry Association (JVIA) is w...

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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者標目
出版年月日等
2024-08-10
出版年(W3CDTF)
2024-08-10
タイトル(掲載誌)
表面と真空
巻号年月日等(掲載誌)
67 8
掲載巻
67
掲載号
8
掲載ページ
399-403