圧電振動子の共振周波数変化を用いた小型力覚センサの開発

• 資料種別: 記事
• タイトル: 圧電振動子の共振周波数変化を用いた小型力覚センサの開発
• 巻次・部編番号: 2024S; 0
• 著者・編者: 山崎 蒼人; 大里 拓巳; 秋月 拓磨; 北崎 充晃; 本名 敦夫; 真下 智昭
• 著者標目: Yamazaki Aoto; 山崎 蒼人; Osato Takumi; 大里 拓巳; Akiduki Takuma; 秋月 拓磨; Kitazaki Michiteru; 北崎 充晃; Honna Atsuo; 本名 敦夫; Mashimo Tomoaki; 真下 智昭
• 出版年月日等: 2024-02-28
• 出版年（W3CDTF）: 2024-02-28
• 並列タイトル等: Miniature Force Sensor using the Frequency Change of Piezoelectric Vibrators
• タイトル（掲載誌）: 精密工学会学術講演会講演論文集; Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2024S 0
• 掲載巻: 2024S
• 掲載号: 0
• 掲載ページ: 337-338
• 著者別名: Yamazaki Aoto; Osato Takumi; Akiduki Takuma; Kitazaki Michiteru; Honna Atsuo; Mashimo Tomoaki
• 件名標目: Sensing; Piezoelectric Phenomena; センシング; 圧電現象
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.11522/pscjspe.2024S.0_337
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 連携機関・データベース: 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• 要約等: <p>圧電振動子にかかった力の大きさを，その共振周波数の変化量から推定する力覚センサの開発を行っている．まず，センサの構造を提案して駆動原理の検証を行ったのち，数ミリサイズでセンサを設計・試作し，実験を行い，感度，線形性，分解能，ダイナミックレンジなどを明らかにする．また，約1mmサイズまでの小型化...