シリコン結晶基板の品質と点欠陥 (7) 欠陥理解と制御のための6方程式 2022.1 0
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 巻次・部編番号
- 2022.10
- 著者・編者
- 井上 直久川又 修一奥田 修一
- 出版年月日等
- 2022-02-25
- 出版年（W3CDTF）
- 2022-02-25
- 並列タイトル等
- Quality of silicon substrate and point defects (7) Six fundamental equation sets for understanding and control of defects
- タイトル（掲載誌）
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 2022.1 0