文書・図像類

高誘電体薄膜に関する研究 : 高集積化MOSFETゲート絶縁膜への応用

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高誘電体薄膜に関する研究 : 高集積化MOSFETゲート絶縁膜への応用

資料種別
文書・図像類
著者
松尾, 直人
出版者
山口大学ベンチャービジネスラボラトリー
出版年
2003
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料種別
文書・図像類
タイトルよみ
コウユウ デンタイ ハクマク ニカンスル ケンキュウ : コウシュウセキカ MOSFET ゲートゼツエンマク エノ オウヨウ
著者・編者
松尾, 直人
著者標目
出版年月日等
2003
出版年(W3CDTF)
2003
タイトル(掲載誌)
山口大学ベンチャービジネスラボラトリー年報
巻号年月日等(掲載誌)
7