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MIFIS構造におけるエピタキシャルCeO/YSZバッファー層の結晶構造と電気的特性に及ぼすYSZ膜厚の影響

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MIFIS構造におけるエピタキシャルCeO/YSZバッファー層の結晶構造と電気的特性に及ぼすYSZ膜厚の影響

資料種別
記事
著者
水谷, 惟恭ほか
出版者
-
出版年
2000
資料形態
掲載誌名
第17回強誘電体応用会議 27-T-44
掲載ページ
p.205-206
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出版タイプ: NAidentifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:00061304

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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
水谷, 惟恭
MIZUTANI, NOBUYASU
出版年月日等
2000
出版年(W3CDTF)
2000
並列タイトル等
Effect of YSZ Thickness on Crystal Structure and Electric Properties of Epitaxial CeO2/YSZ Buffer Layer in MFIS Stacked Structures
タイトル(掲載誌)
第17回強誘電体応用会議
巻号年月日等(掲載誌)
27-T-44
掲載巻
27-T-44