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微小構造体作製のための傾斜マスクによる高速原子線加工線幅の微小化

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微小構造体作製のための傾斜マスクによる高速原子線加工線幅の微小化

資料種別
記事
著者
堀江, 三喜男ほか
出版者
-
出版年
2002
資料形態
掲載誌名
日本機械学会2002年度年次大会講演論文集 V 02-1
掲載ページ
p.59-60
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資料に関する注記

一般注記:

出版タイプ: NAidentifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:00077799

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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
堀江, 三喜男
HORIE, MIKIO
出版年月日等
2002
出版年(W3CDTF)
2002
タイトル(掲載誌)
日本機械学会2002年度年次大会講演論文集
巻号年月日等(掲載誌)
V 02-1
掲載巻
V
掲載号
02-1
掲載ページ
59-60
本文の言語コード
jpn
対象利用者
一般
一般注記
出版タイプ: NA
identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:00077799
連携機関・データベース
国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース(IRDB)(機関リポジトリ)
提供元機関・データベース
東京科学大学 : 東京科学大学リサーチリポジトリ(T2R2)