文書・図像類

マイクロデバイスのための超微細加工プロセスの開発

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マイクロデバイスのための超微細加工プロセスの開発

資料種別
文書・図像類
著者
日比野, 亮ほか
出版者
-
出版年
2007-03
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50029024

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書誌情報

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資料種別
文書・図像類
著者・編者
日比野, 亮
Hibino, Ryo
吉野, 雅彦
YOSHINO, MASAHIKO
出版年月日等
2007-03
出版年(W3CDTF)
2007-03
タイトル(掲載誌)
2007年度精密工学会春季大会卒論発表会
巻号年月日等(掲載誌)
No.
掲載巻
No.
本文の言語コード
jpn