異種機能デバイスの三次元集積化の研究
デジタルデータあり（東京科学大学リサーチリポジトリ(T2R2)）
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 川野, 連也unknown, unknown
- 出版年月日等
- 2008-09
- 出版年（W3CDTF）
- 2008-09
- 並列タイトル等
- A study on three-dimensional integration of heterogeneous functional devices
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 2008-09-25
- 報告番号
- A7424
- 学位
- 博士(工学)
- 本文の言語コード
- jpn
- 対象利用者
- 一般
- 一般注記
- 出版タイプ： VoRidentifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50348745
- 記録形式（IMT）
- application/pdf
- 一次資料へのリンクURL
- fulltext
- オンライン閲覧公開範囲
- インターネット公開
- 連携機関・データベース
- 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
- 提供元機関・データベース
- 東京科学大学 : 東京科学大学リサーチリポジトリ(T2R2)