博士論文

多元同時スパッタリング法によるアモルファス酸化物固体電解質のコンビナトリアル合成手法開発

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多元同時スパッタリング法によるアモルファス酸化物固体電解質のコンビナトリアル合成手法開発

資料種別
博士論文
著者
佐々木, 俊介ほか
出版者
-
出版年
2022-03
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
東京工業大学,博士(工学)
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資料に関する注記

一般注記:

identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50606083

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
佐々木, 俊介
Sasaki, Shunsuke
出版年月日等
2022-03
出版年(W3CDTF)
2022-03
授与機関名
東京工業大学
授与年月日
2022-03-26
報告番号
甲第11815号
学位
博士(工学)