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Thickness Dependence of Ferroelectricity for Thin (Al0.9Sc0.1)N-based FeRAM

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Thickness Dependence of Ferroelectricity for Thin (Al0.9Sc0.1)N-based FeRAM

資料種別
記事
著者
道古, 宗俊ほか
出版者
-
出版年
2024-11
資料形態
掲載誌名
R09
掲載ページ
-
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資料に関する注記

一般注記:

出版タイプ: NAidentifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50728673

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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
道古, 宗俊
Doko, Soshun
恒川, 孝二
TSUNEKAWA, KOJI
SUN, Nana
岡本, 一輝
Okamoto, Kazuki
舟窪, 浩
FUNAKUBO, HIROSHI
出版年月日等
2024-11
出版年(W3CDTF)
2024
巻号年月日等(掲載誌)
R09
掲載巻
R09
対象利用者
一般
一般注記
出版タイプ: NA
identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50728673