物理気相蒸着により形成した有機薄膜の揮発性有機化合物(VOC)ガス吸着特性

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 物理気相蒸着により形成した有機薄膜の揮発性有機化合物(VOC)ガス吸着特性
• 著者・編者: 大西, 康貴
• 著者標目: 大西, 康貴
• 出版事項: 東海大学
• 並列タイトル等: ブツリ キソウ ジョウチャク ニヨリ ケイセイシタ ユウキ ハクマク ノ キハツセイ ユウキ カゴウブツ VOC ガス キュウチャク トクセイ
• 授与機関名: 東海大学
• 授与年月日: 2017-03-24
• 報告番号: 甲第1010号
• 学位: 博士(工学)
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 真空蒸着; スパッタリング; ポリテトラフルオロエチレン; 反射防止膜; 水晶微小天秤; Vacuum evaporation; Sputtering; Poly (tetrafluoroethylene)(PTEE); Anti reflection film; Quartz crystal microbalance(QCM)
• 対象利用者: 一般
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 東海大学 : 東海大学機関リポジトリ

目次

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