Evaluation Method of Electromigration Damage in IC Metal Lines and Its Application to Practical Problems(集積回路配線におけるエレクトロマイグレーション損傷の評価法と実用問題へのその応用)

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資料種別: 文書・図像類
タイトル: Evaluation Method of Electromigration Damage in IC Metal Lines and Its Application to Practical Problems(集積回路配線におけるエレクトロマイグレーション損傷の評価法と実用問題へのその応用)
著者・編者: 長谷川, 昌孝
著者標目: 長谷川, 昌孝
出版年月日等: 2003
出版年（W3CDTF）: 2003
巻号年月日等（掲載誌）: 3109
掲載号: 3109
本文の言語コード: jpn
対象利用者: 一般
一般注記: application/pdf
博士学位論文の要旨及び審査結果の要旨 (Summary of Thesis(DR))
353705 bytes
T1H153109
記録形式（IMT）: application/pdf
一次資料へのリンクURL: T1H153109.pdf
https://tohoku.repo.nii.ac.jp/record/92678/files/T1H153109.pdf
オンライン閲覧公開範囲: 限定公開
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
提供元機関・データベース: 東北大学 : 東北大学機関リポジトリ　TOUR