マイクロ波プラズマのアフタグローにおける薄膜堆積過程の研究

• 資料種別: 文書・図像類
• タイトル: マイクロ波プラズマのアフタグローにおける薄膜堆積過程の研究
• 著者・編者: Meikle, Scott Gerald
• 著者標目: Meikle, Scott Gerald
• 出版事項: 静岡大学大学院電子科学研究科
• 出版年月日等: 1992-03-30
• 出版年（W3CDTF）: 1992-03-30
• 並列タイトル等: Thin Film Deposition Processes in the Afterglow of a Microwave Plasma
• タイトル（掲載誌）: 静岡大学大学院電子科学研究科研究報告
• 巻号年月日等（掲載誌）: 13
• 掲載巻: 13
• 掲載ページ: 162-163
• ISSN（掲載誌）: PISSN : 03885070
• 本文の言語コード: jpn
• NDC: 549
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士学位論文の要旨 学位記番号:工博甲第59号; 甲第61号; application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 関連情報: 000000239968
• 掲載誌（NCID）: AN00103168; https://ci.nii.ac.jp/ncid/AN00103168
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 静岡大学 : 静岡大学学術リポジトリ