コプラナー型平面プラズマによる酸化物薄膜のダイレクトパターニング

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資料種別: 文書・図像類
タイトル: コプラナー型平面プラズマによる酸化物薄膜のダイレクトパターニング
著者・編者: 奥谷, 昌之
著者標目: 奥谷, 昌之
出版事項: 静岡大学
出版年月日等: 2013-06-04
出版年（W3CDTF）: 2013-06-04
並列タイトル等: Direct patterning of oxide films by coplanar type surface discharge
本文の言語コード: jpn
件名標目: ダイレクトパターニング
平面プラズマ
製膜
酸化スズ
酸化亜鉛
NDC: 541
対象利用者: 一般
一般注記: 2010年度～2012年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書
記録形式（IMT）: application/pdf
一次資料へのリンクURL: https://shizuoka.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=6946&item_no=1&attribute_id=31&file_no=1
https://shizuoka.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=6946&item_no=1&attribute_id=31&file_no=1
オンライン閲覧公開範囲: 限定公開
関連情報: 22560719
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
提供元機関・データベース: 静岡大学 : 静岡大学学術リポジトリ