アルカリイオン混入シリコン酸化膜を用いた超小型振動発電素子の開発

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資料種別: 図書
タイトル: アルカリイオン混入シリコン酸化膜を用いた超小型振動発電素子の開発
著者・編者: 橋口, 原
著者標目: 橋口, 原
出版事項: 静岡大学
出版年月日等: 2014-06-25
出版年（W3CDTF）: 2014-06-25
並列タイトル等: Development of a micro vibration energy harvesting device using silicon dioxide electret film including alkali ions
本文の言語コード: jpn
件名標目: MEMS
アルカリイオン
エレクトレット
マイクロマシン
マイクロ・ナノデバイス
振動発電
環境技術
省エネルギー
静電トランス
静電型アクチュエータ
NDC: 549
対象利用者: 一般
一般注記: 出版タイプ： VoR
2011年度～2013年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書
application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
関連情報: 23560287
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
提供元機関・データベース: 静岡大学 : 静岡大学学術リポジトリ