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文書・図像類

ナノスケールプラズマジェット照射可能なプローブ顕微鏡微細加工システムの開発

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ナノスケールプラズマジェット照射可能なプローブ顕微鏡微細加工システムの開発

資料種別
文書・図像類
著者
岩田, 太
出版者
静岡大学
出版年
2017-06-23
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
-
NDC
535
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資料に関する注記

一般注記:

2014年度~2016年度 科学研究費助成事業(基盤研究(B))研究成果報告書

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26289016

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デジタル

資料種別
文書・図像類
著者・編者
岩田, 太
著者標目
出版事項
出版年月日等
2017-06-23
出版年(W3CDTF)
2017-06-23
並列タイトル等
Scanning Probe Microscope capable of irradiation of nano-meter scale plasma jet
本文の言語コード
jpn