ナノスケール微細加工および組成分析可能な大気圧プラズマ照射プローブ顕微鏡の開発

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資料種別: 規格・テクニカルリポート類
タイトル: ナノスケール微細加工および組成分析可能な大気圧プラズマ照射プローブ顕微鏡の開発
著者・編者: 岩田, 太
著者標目: 岩田, 太
出版年月日等: 2020-06-12
出版年（W3CDTF）: 2020
並列タイトル等: Development of a microfabrication/analysis system using a probe microscope capable of irradiating an atmospheric pressure plasma jet
件名標目: 大気圧プラズマ
走査型プローブ顕微鏡
ナノピペット
微細加工
対象利用者: 一般
一般注記: 出版タイプ： VoR
2017～2019年度科学研究費助成事業(基盤研究(B)(一般))研究成果報告書
関連情報: 17H03156
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
提供元機関・データベース: 静岡大学 : 静岡大学学術リポジトリ