文書・図像類

Si・サファイア・SiCのレーザ切断と同時に加工変質層を腐食除去する方法の開発

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Si・サファイア・SiCのレーザ切断と同時に加工変質層を腐食除去する方法の開発

資料種別
文書・図像類
著者
細野, 高史
出版者
-
出版年
2014
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

研究種目:若手研究(B)研究期間:2012~2013課題番号:24760100...

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デジタル

資料種別
文書・図像類
著者・編者
細野, 高史
著者標目
出版年月日等
2014
出版年(W3CDTF)
2014
並列タイトル等
Developing of laser cutting and simultaneous removing of heat affected layer method of silicon, sapphile and SiC
本文の言語コード
jpn
対象利用者
一般
一般注記
研究種目:若手研究(B)
研究期間:2012~2013
課題番号:24760100
研究代表者:細野 高史
研究者番号:70432169
Other
2012~2013年度科学研究費助成事業(若手研究(B))研究成果報告書 課題番号:24760100 研究代表者:細野 高史