サブピコ秒パルスラジオリシス装置の開発と化学増幅型レジスト中に誘起される放射線化学反応研究への応用
デジタルデータあり（大阪大学学術情報庫 桜華）
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 古澤, 孝弘
- 著者標目
- 古澤, 孝弘 コザワ, タカヒロ
- 並列タイトル等
- Development of subpicosecond pulse radiolysis system and its application to investigation of radiation-induced reactions in chemically amplified resists
- 授与機関名
- OU
- 授与年月日
- 2003-01-24
- 報告番号
- 乙第08585号
- 学位
- 博士（工学）
- 本文の言語コード
- und