表面分析における選択スパッタリングに関する基礎的研究-スパッタされた銅ニッケル合金表面のオージェ電子分光法による解析-
デジタルデータあり（大阪大学学術情報庫 桜華）
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ヒョウメン ブンセキ ニ オケル センタク スパッタリング 二カンスル キソテキ ケンキュウ スパッタ サレタ ドウニッケルゴウキン ヒョウメン ノ オージェ デンシ ブンコウホウ ニヨル カイセキ
- 著者・編者
- 佐伯, 登
- 著者標目
- 佐伯, 登 サエキ, ノボル
- 並列タイトル等
- Basic study on preferential sputtering in surface analysis : Analysis of sputtered Cu-Ni alloy surface by means of Auger electron spectroscopy
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 1980-03-25
- 報告番号
- 甲第02520号
- 学位
- 工学博士
- 本文の言語コード
- jpn
- 対象利用者
- 一般
- 一般注記
- 出版タイプ： VoR
- 記録形式（IMT）
- application/pdf
- 一次資料へのリンクURL
- 04935_Dissertation.pdf （fulltext）
- オンライン閲覧公開範囲
- インターネット公開
- 連携機関・データベース
- 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
- 提供元機関・データベース
- 大阪大学 : 大阪大学学術情報庫 桜華