増反射膜付加高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の最適設計

• 資料種別: 文書・図像類
• タイトル: 増反射膜付加高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の最適設計
• 著者・編者: 小池, 雅人; 羽多野, 忠; ピロジコフ, アレキサンダー; 寺内, 正己; 西原, 弘晃; 笹井, 裕行; 長野, 哲也; 小池 雅人; ピロジコフ アレキサンダー
• 著者標目: 小池, 雅人; 羽多野, 忠; ピロジコフ, アレキサンダー; 寺内, 正己; 西原, 弘晃; 笹井, 裕行; 長野, 哲也; 小池 雅人; ピロジコフ アレキサンダー
• 出版年月日等: 2018-10-26
• 出版年（W3CDTF）: 2018-10-26
• 本文の言語コード: jpn
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 第54回X線分析討論会
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構 学術機関リポジトリ

• 要約等: Ni表面の上にランタン（La）の増反射膜と炭素（C）の保護膜を付加した回折格子を例にとり、B-K発光(6.76nm)を中心とした波長領域でスペクトル光量（ = 回折効率×cosα）を最大化するために回折格子溝の形状, 増反射膜の膜厚,入射角等を最適化する系統的な設計法について述べる。現在広く使用され...