C60イオン衝撃による金のスパッタリング収量の測定

• 資料種別: 文書・図像類
• タイトル: C60イオン衝撃による金のスパッタリング収量の測定
• 著者・編者: 鳴海, 一雅; 山田, 圭介; 千葉, 敦也; 平野, 貴美; 齋藤, 勇一; Narumi, Kazumasa; Yamada, Keisuke; Chiba, Atsuya; Hirano, Yoshimi; Saito, Yuuichi
• 著者標目: 鳴海, 一雅; 山田, 圭介; 千葉, 敦也; 平野, 貴美; 齋藤, 勇一; Narumi, Kazumasa; Yamada, Keisuke; Chiba, Atsuya; Hirano, Yoshimi; Saito, Yuuichi
• 出版年月日等: 2019-09-10
• 出版年（W3CDTF）: 2019-09-10
• 本文の言語コード: jpn
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 日本物理学会2019年秋季大会
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構 学術機関リポジトリ

• 要約等: 本研究では、C60イオンビームの物質・材料科学、高感度分析技術等への応用を視野に入れ、応用面で重要なスパッタリングに着目し、スパッタリング収量を系統的に測定することを目的とする。今回は30 keV～9 MeVのエネルギー範囲で金標的のスパッタリング収量を測定した。測定には水晶振動子微量天秤法を用い、...