テンダーX線回折格子分光器の高分解能化の検討

• 資料種別: 文書・図像類
• タイトル: テンダーX線回折格子分光器の高分解能化の検討
• 著者・編者: 今園, 孝志; 垣尾, 翼; 林, 信和; 笹井浩行; 長野哲也; Imazono, Takashi
• 著者標目: 今園, 孝志; 垣尾, 翼; 林, 信和; 笹井浩行; 長野哲也; Imazono, Takashi
• 出版年月日等: 2020-01-11
• 出版年（W3CDTF）: 2020-01-11
• 本文の言語コード: jpn
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 第33回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構 学術機関リポジトリ

• 要約等: 近年、比較的大きな侵入深さ（数μm）を持つ光子エネルギー約1～5 keVを用いたテンダーX線分光研究が、実動作中の機能性デバイスの非破壊的・元素選択的な評価・分析（オペランド計測）に有効であることから注目されている。我々はそのニーズに応えるため、非周期多層膜回折格子を搭載した平面結像分光器を開発して...