Membrane-heater-integrated LSI for on-site annealing-recovery from 20kGy gamma ray irradiation damage

• 資料種別: 文書・図像類
• タイトル: Membrane-heater-integrated LSI for on-site annealing-recovery from 20kGy gamma ray irradiation damage
• 著者・編者: Gong, Tianjiao; Suzuki, Yukio; Takeyama, Akinori; Ohshima, Takeshi; Shuji Tanaka; Akinori, Takeyama; Takeshi, Ohshima
• 著者標目: Gong, Tianjiao; Suzuki, Yukio; Takeyama, Akinori; Ohshima, Takeshi; Shuji Tanaka; Akinori, Takeyama; Takeshi, Ohshima
• 出版年月日等: 2021-01-26
• 出版年（W3CDTF）: 2021-01-26
• 本文の言語コード: eng
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: The 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2021)
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構 学術機関リポジトリ

• 要約等: In this study, we proposed a novel membrane-heater integrated LSI for on-site annealing-recovery from TID effect with low energy consumption, aiming a...