極端紫外 (EUV) 域広開口高回折効率ラミナー型回折格子の開発

• 資料種別: 文書・図像類
• タイトル: 極端紫外 (EUV) 域広開口高回折効率ラミナー型回折格子の開発
• 著者・編者: 小池, 雅人; 羽多野, 忠; 村野, 孝訓; 越谷, 翔悟; ピロジコフ, アレキサンダー; 垣尾, 翼; 林, 信和; 長野, 哲也; 寺内, 正己; Masato, Koike; Pirozhkov, Alexander
• 著者標目: 小池, 雅人; 羽多野, 忠; 村野, 孝訓; 越谷, 翔悟; ピロジコフ, アレキサンダー; 垣尾, 翼; 林, 信和; 長野, 哲也; 寺内, 正己; Masato, Koike; Pirozhkov, Alexander
• 出版年月日等: 2021-10-13
• 出版年（W3CDTF）: 2021-10-13
• 本文の言語コード: jpn
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 2021年度 日本分光学会年次講演会
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構 学術機関リポジトリ

• 要約等: 電子顕微鏡と組み合わせた軟X 線回折格子発光分光器(SXES)は, 局所領域からの発光スペクトルのマッピング計測が可能で，多元物質の分布計測に利用されているが，分析感度の向上と共に測定時間の短縮が大きな課題になっている．そこで，回折格子に取り込む光量(Spectral flux)と回折効率の増大を図...