テンダーX線回折格子分光器の高分解能化の検討（3）

• 資料種別: 文書・図像類
• タイトル: テンダーX線回折格子分光器の高分解能化の検討（3）
• 著者・編者: 今園, 孝志; 林信和; 垣尾翼; 笹井浩行; 長野哲也; Takashi, Imazono
• 著者標目: 今園, 孝志; 林信和; 垣尾翼; 笹井浩行; 長野哲也; Takashi, Imazono
• 出版年月日等: 2022-01-08
• 出版年（W3CDTF）: 2022-01-08
• 本文の言語コード: jpn
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構 学術機関リポジトリ

• 要約等: 1～4 keVのエネルギー領域を入射角一定の条件下で同時に分光計測できる高分解能回折格子分光器の開発に取り組んでいる。本研究では、非周期Ni/C多層膜をコートした不等刻線間隔平面回折格子と前置集光鏡からなる分光光学系を設計した。まず、非周期多層膜による反射率の広帯域化を確認するために、イオンビームス...