Control of Discharge Conditions to Reduce Hydrogen Content in Low Z Films Produced with DC Glow

• 資料種別: 文書・図像類
• タイトル: Control of Discharge Conditions to Reduce Hydrogen Content in Low Z Films Produced with DC Glow
• 著者・編者: "Natsir, M.; Sagara, A.; Tsuzuki, K.; Tsuchiya, B.; Hasegawa, Y.; Motojima, O."
• 著者標目: "Natsir, M.; Sagara, A.; Tsuzuki, K.; Tsuchiya, B.; Hasegawa, Y.; Motojima, O."
• 出版年月日等: 1995-09-01
• 出版年（W3CDTF）: 1995-09-01
• タイトル（掲載誌）: Research Report NIFS-Series
• ISSN（掲載誌）: ISSN : 0915-633X
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: DC glow; boronization; elastic recoil detection; hydrogen content; H recycling; LHD.
• 対象利用者: 一般
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 核融合科学研究所 : 核融合科学研究所機関リポジトリ

• 要約等: Boronization at near room temperature has been performed in plasma processing teststand (PPT) by using a 5 % diborane gases B_2 H_6 in He on electrica...