Unified Analytic Formula for Physical Sputtering Yield at Normal Ion Incidence

• 資料種別: 文書・図像類
• タイトル: Unified Analytic Formula for Physical Sputtering Yield at Normal Ion Incidence
• 著者・編者: JANEV, R.K.; RALCHENKO, Yu. V.; KENMOTSU, Takahiro
• 著者標目: JANEV, R.K.; RALCHENKO, Yu. V.; KENMOTSU, Takahiro
• 出版事項: National Institute for Fusion Science
• 出版年月日等: 2001-04
• 出版年（W3CDTF）: 2001-04
• タイトル（掲載誌）: Research Report NIFS-Series
• ISSN（掲載誌）: ISSN : 0915-6364
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: physical sputtering; normal incidence; scaling formula
• 対象利用者: 一般
• オンライン閲覧公開範囲: 限定公開
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 核融合科学研究所 : 核融合科学研究所機関リポジトリ

• 要約等: A new analytic representation of the physical sputtering yield at normal ion incidence is derived providing a unified description of the sputtering da...