IV族半導体極微細プロセスに向けた固相反応のダイナミクス制御とCエンジニアリング
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書誌情報
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- 資料種別
- 文書・図像類
- 著者・編者
- 財満, 鎭明
- 著者標目
- 出版年月日等
- 2006-03
- 出版年(W3CDTF)
- 2006-03
- 本文の言語コード
- jpn
- 対象利用者
- 一般
- 一般注記
- 科学研究費補助金 研究種目:基盤研究(A) 課題番号:15206004 研究代表者:財満鎭明 研究期間:2003-2005年度
- 記録形式(IMT)
- application/pdf