プラズマプロセスにおけるフリーラジカルに関する研究
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書誌情報
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- 資料種別
- 文書・図像類
- 著者・編者
- 後藤, 俊夫菅井, 秀郎村岡, 克紀橘, 邦英渡辺, 征夫真壁, 利明安田, 幸夫田頭, 博昭
- 出版年月日等
- 1997-02
- 出版年(W3CDTF)
- 1997-02
- 本文の言語コード
- eng
- 対象利用者
- 一般
- 一般注記
- 科学研究費補助金 研究種目:重点領域研究 課題番号:05237103 研究代表者:廣田 榮治 研究期間:1993-1996年度.http://kaken.nii.ac.jp/ja/p/05237103 では報告書表題は『フリ-ラジカルの科学の総合的研究』と表記
- 記録形式(IMT)
- application/pdf