物理的気相蒸着法におけるプラズマ特性と膜物性に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 物理的気相蒸着法におけるプラズマ特性と膜物性に関する研究
• 著者・編者: 沖村, 邦雄
• 著者標目: 沖村, 邦雄 オキムラ, クニオ
• 出版年月日等: 1995-07-21
• 出版年（W3CDTF）: 1995-07-21
• 授与機関名: 九州大学; Kyushu University
• 授与年月日: 1995-07-21
• 報告番号: 乙第6006号
• 学位: 博士（工学）
• 本文の言語コード: jpn
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 出版タイプ： VoR
• DOI: 10.11501/3106943; https://doi.org/10.11501/3106943
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• 一次資料へのリンクURL: okimura1.pdf （fulltext）; https://catalog.lib.kyushu-u.ac.jp/opac_download_md/24978/okimura1.pdf; okimura2.pdf （fulltext）; https://catalog.lib.kyushu-u.ac.jp/opac_download_md/24978/okimura2.pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 関連情報（URI）: URI; https://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3106943
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 九州大学 : 九州大学学術情報リポジトリ

目次

第1章 序論 第2章 プラズマ診断方法 第3章 Al-Ar混合気体放電のプラズマパラメータと電離機構 第4章 RFマグネトロンスパッタリングのプラズマ診断 第5章 RFマグネトロンスパッタリングによるTiO_2薄膜の性質とプラズマ特性の相関 第6章 プラズマの能動的制御によるTiO_2膜質の制御 第7章 総括