DLTS法を用いたGeゲートスタックの欠陥評価に関する研究
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 温, 偉辰
- 著者標目
- 温, 偉辰 ウェン, ウェイチェン
- 出版年月日等
- 2020-09-25
- 出版年（W3CDTF）
- 2020-09-25
- 並列タイトル等
- Study on defect characterization of Ge gate stacks using deep-level transient spectroscopy
- 寄与者
- 服部, 励治中島, 寛佐道, 泰造王, 冬
- 授与機関名
- 九州大学
- 授与年月日
- 2020-09-25