ミストCVD法とその酸化亜鉛薄膜成長への応用に関する研究
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ミスト CVDホウ ト ソノ サンカ アエン ハクマク セイチョウ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 川原村, 敏幸
- 著者標目
- 出版年月日等
- 2008-03-24
- 出版年（W3CDTF）
- 2008-03-24
- 寄与者
- 藤田, 静雄三浦, 孝一川上, 養一
- 授与機関名
- 京都大学