化学気相成長法によるシランからの多結晶シリコンとアモルファスシリコンの製造反応に関する反応工学的研究
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 河瀬, 元明
- 著者標目
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1997-03-24
- 出版年（W3CDTF）
- 1997-03-24
- 寄与者
- 橋本, 健治松波, 弘之三浦, 孝一
- 授与機関名
- 京都大学
- 授与年月日
- 1997-03-24