高周波プラズマ型荷電粒子源の開発とその応用
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- コウシュウハ プラズマガタ カデン リュウシゲン ノ カイハツ ト ソノ オウヨウ
- 著者・編者
- 酒井, 滋樹
- 著者標目
- 出版年月日等
- 2009-03-23
- 出版年（W3CDTF）
- 2009-03-23
- 寄与者
- 石川, 順三橘, 邦英髙岡, 義寛
- 授与機関名
- 京都大学