質量分離された低エネルギーイオンビームによる薄膜形成およびエッチング機構に関する研究
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- シツリョウ ブンリ サレタ テイエネルギー イオン ビーム ニヨル ハクマク ケイセイ オヨビ エッチング キコウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- Miyake, Kiyoshi
- 著者標目
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1982-03-23
- 出版年（W3CDTF）
- 1982-03-23
- 並列タイトル等
- STUDIES ON LOW-ENERGY, MASS-SEPARATED ION BEAM DEPOSITION AND REACTIVE ION BEAM ETCHING
- 寄与者
- 髙木, 俊宜川端, 昭板谷, 良平